ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์ (NF3) ก๊าซความบริสุทธิ์สูง
ข้อมูลพื้นฐาน
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
วัสดุนี้คืออะไร?
ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์ (NF3) เป็นก๊าซไม่มีสีและไม่มีกลิ่นที่อุณหภูมิห้องและความดันบรรยากาศ สามารถทำให้เป็นของเหลวได้ภายใต้ความกดดันปานกลาง NF3 มีความเสถียรภายใต้สภาวะปกติและไม่สลายตัวทันที อย่างไรก็ตาม มันสามารถสลายตัวได้เมื่อสัมผัสกับอุณหภูมิสูงหรือมีตัวเร่งปฏิกิริยาบางชนิด NF3 มีศักยภาพในการทำให้เกิดภาวะโลกร้อน (GWP) สูงเมื่อปล่อยออกสู่ชั้นบรรยากาศ
จะใช้วัสดุนี้ที่ไหน?
สารทำความสะอาดในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์: NF3 ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายเป็นสารทำความสะอาดสำหรับการกำจัดสิ่งปนเปื้อนที่ตกค้าง เช่น ออกไซด์ ออกจากพื้นผิวของเซมิคอนดักเตอร์ แผงแสดงผลพลาสมา (PDP) และส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์อื่นๆ สามารถทำความสะอาดพื้นผิวเหล่านี้ได้อย่างมีประสิทธิภาพโดยไม่ทำลายพื้นผิว
ก๊าซกัดกร่อนในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์: NF3 ใช้เป็นก๊าซกัดกร่อนในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ มีประสิทธิภาพโดยเฉพาะอย่างยิ่งในการกัดกรดซิลิคอนไดออกไซด์ (SiO2) และซิลิคอนไนไตรด์ (Si3N4) ซึ่งเป็นวัสดุทั่วไปที่ใช้ในการผลิตวงจรรวม
การผลิตสารประกอบฟลูออรีนที่มีความบริสุทธิ์สูง: NF3 เป็นแหล่งฟลูออรีนที่มีคุณค่าสำหรับการผลิตสารประกอบที่มีฟลูออรีนต่างๆ มันถูกใช้เป็นสารตั้งต้นในการผลิตฟลูออโรโพลีเมอร์ ฟลูออโรคาร์บอน และสารเคมีชนิดพิเศษ
การสร้างพลาสมาในการผลิตจอแบน: NF3 ใช้ร่วมกับก๊าซอื่นๆ เพื่อสร้างพลาสมาในการผลิตจอแบน เช่น จอแสดงผลคริสตัลเหลว (LCD) และ PDP พลาสมามีความสำคัญในกระบวนการสะสมและการกัดระหว่างการผลิตแผง
โปรดทราบว่าการใช้งานและข้อบังคับเฉพาะสำหรับการใช้วัสดุ/ผลิตภัณฑ์นี้อาจแตกต่างกันไปตามประเทศ อุตสาหกรรม และวัตถุประสงค์ ปฏิบัติตามแนวทางด้านความปลอดภัยเสมอและปรึกษาผู้เชี่ยวชาญก่อนใช้วัสดุ/ผลิตภัณฑ์นี้ในการใช้งานใดๆ
