คาร์บอนเตตราฟลูออไรด์ (CF4) ก๊าซความบริสุทธิ์สูง
ข้อมูลพื้นฐาน
CAS | 75-73-0 |
EC | 200-896-5 |
UN | 1982 |
วัสดุนี้คืออะไร?
คาร์บอนเตตราฟลูออไรด์เป็นก๊าซไม่มีสี ไม่มีกลิ่น ที่อุณหภูมิและความดันมาตรฐาน มีความเฉื่อยทางเคมีสูงเนื่องจากมีพันธะคาร์บอน-ฟลูออรีนที่แข็งแกร่ง ทำให้ไม่ทำปฏิกิริยากับสารทั่วไปส่วนใหญ่ภายใต้สภาวะปกติ CF4 เป็นก๊าซเรือนกระจกที่มีศักยภาพซึ่งมีส่วนทำให้เกิดภาวะโลกร้อน
จะใช้วัสดุนี้ที่ไหน?
1. การผลิตเซมิคอนดักเตอร์: CF4 ถูกนำมาใช้อย่างกว้างขวางในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์สำหรับกระบวนการกัดพลาสม่าและกระบวนการสะสมไอสารเคมี (CVD) ช่วยในการแกะสลักเวเฟอร์ซิลิคอนและวัสดุอื่นๆ ที่ใช้ในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์อย่างแม่นยำ ความเฉื่อยทางเคมีมีความสำคัญอย่างยิ่งในการป้องกันปฏิกิริยาที่ไม่พึงประสงค์ในระหว่างกระบวนการเหล่านี้
2. ก๊าซไดอิเล็กทริก: CF4 ใช้เป็นก๊าซอิเล็กทริกในอุปกรณ์ไฟฟ้าแรงสูงและสวิตช์เกียร์ฉนวนก๊าซ (GIS) ความเป็นฉนวนสูงและคุณสมบัติเป็นฉนวนไฟฟ้าที่ดีเยี่ยมทำให้เหมาะสำหรับใช้ในงานเหล่านี้
3. การทำความเย็น: CF4 ถูกใช้เป็นสารทำความเย็นในการใช้งานที่อุณหภูมิต่ำบางประเภท แม้ว่าการใช้งานจะลดลงเนื่องจากความกังวลด้านสิ่งแวดล้อมเกี่ยวกับศักยภาพของภาวะโลกร้อนที่สูง
4. Tracer Gas: สามารถใช้เป็นก๊าซติดตามในกระบวนการตรวจจับการรั่วไหล โดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับการระบุการรั่วไหลในระบบสุญญากาศสูงและอุปกรณ์อุตสาหกรรม
5. ก๊าซสอบเทียบ: CF4 ใช้เป็นก๊าซสอบเทียบในเครื่องวิเคราะห์ก๊าซและเครื่องตรวจจับก๊าซเนื่องจากมีคุณสมบัติที่ทราบและมีเสถียรภาพ
6. การวิจัยและพัฒนา: ใช้ในการวิจัยและพัฒนาในห้องปฏิบัติการเพื่อวัตถุประสงค์ต่าง ๆ รวมถึงการทดลองด้านวัสดุศาสตร์ เคมี และฟิสิกส์
โปรดทราบว่าการใช้งานและข้อบังคับเฉพาะสำหรับการใช้วัสดุ/ผลิตภัณฑ์นี้อาจแตกต่างกันไปตามประเทศ อุตสาหกรรม และวัตถุประสงค์ ปฏิบัติตามแนวทางด้านความปลอดภัยเสมอและปรึกษาผู้เชี่ยวชาญก่อนใช้วัสดุ/ผลิตภัณฑ์นี้ในการใช้งานใดๆ